Call Center
Kính hiển vi điện tử quét
+ Độ phân giải:
Chế độ chân không cao (H-Vac)
Độ phân giải (SEI - điện tử thứ cấp):
 - 4.0 nm (điện thế thứ cấp 20 kV, khoảng cách làm việc 8 nm, SEI)
 - 8.0 nm (điện thế thứ cấp 3 kV, khoảng cách làm việc 6 nm, SEI)
 - 15.0 nm (điện thế thứ cấp 1 kV, khoảng cách làm việc 6 nm, SEI)
Chế độ chân không thấp (V-Vac)
Độ phân giải (BEI - điện tử tán xạ ngược):
 - 5.0 nm (điện thế thứ cấp 20 kV, khoảng cách làm việc 5 nm)
 + Tín hiệu hình ảnh:
Chế độ chân không cao (H-Vac)
 - Hình ảnh điện tử thứ cấp (SEI) (đầu thu Everhart-Thornley)
 - Hình ảnh điện tử tán xạ ngược (BEI) (đầu thu Everhart-Thornley)
 - Hình ảnh điện tử tán xạ ngược (BEI): ảnh thành phần, hình học và ảnh bóng (đầu thu bán dẫn)
Chế độ chân không thấp (L-Vac)
 - Hình ảnh điện tử tán xạ ngược (BEI): ảnh thành phần, hình học và ảnh bóng (đầu thu bán dẫn)
 + Độ phóng đại:
 - Độ phóng đại: 8 lần đến 300.000 lần (146 bước nhảy)
(Độ phóng đại 5 lần đến 8 lần tại điện thế thứ cấp 10 kV hoặc thấp hơn, khoảng cách làm việc  46 mm)
 + Dòng dò: 1 pA - 0,3 mA
 + Áp suất chân không trong buồng chân không:
 - Áp suất có thể điều chỉnh: 10 đến 100 Pa (có thể cài đặt 1 Pa)
